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　　材料的相容性是一個主要關注測量腐蝕性強的流體流動時，如酸。有幾種選擇，以保證濕材料在儀器儀表中的相處的過程流體。一些選項包括：高合金或異國情調(diào)的金屬，應用化學防腐襯里的濕流路，甚至使用了完全的抗化學腐蝕的塑料工具。除了工具，提供了一種方法來測量流量，儀器提供的控制功能（如閥）也應適當考慮指定材料的相容性。
　　
　　一個次要的考慮因素，有時會忽視當指定儀器的腐蝕性液體是項目–失效模式的一個積極的流體泄漏會對人員和設備造成重大的安全風險。了解濕流程構(gòu)建，以及如何處理液內(nèi)含有的流程是這樣的考慮關鍵部件。每一個線程的組件或O形圈密封的流動路徑是一個薄弱環(huán)節(jié)，增加了一個積極的流體泄漏的風險，減小儀器安裝的生活。
　　
　　工作時像泥漿磨蝕性流體，流動的效應稱為集聚可以克服一個巨大的挑戰(zhàn)。由于泥漿是由固體微粒懸浮在液體中的固體顆粒，團聚時存款或“叢”在一些點在流動路徑。在拋光像化學機械平坦化（CMP）沉積過程，在實際的部分擦拭直接降低拋光工藝收率。類似的存款通常發(fā)生在一對其他點的流動路徑，可以產(chǎn)生過程中的停機時間，如：管道彎頭或其他部分的流動路徑的流動方向的變化（包括方向的變化在儀表）或磁浮球液位計的運動部件。在一個系統(tǒng)中，將控制磨料流動減少這2種情況的發(fā)生是一個堅實的設計策略。
　　
　　蠕動泵是一種常見的攻擊性和研磨性流體的流量控制方法。這些泵提供了一個廣泛的流量控制范圍，設計可以^大限度地減少團聚，也可以是由一系列積極的液體兼容的材料。用這種方法控制流量為OEM和其他一些系統(tǒng)設計者主要關心的是這些泵的高初始成本。幸運的是，有可供用戶其他配置選項。